
特色:
- 佔地空間小,真空性能佳
- 多孔位設計,適用不同尺寸的坩鍋
- 配置日本Plasmatech電子槍,安定度高
- 隔板設計適合擺放無塵車間
- 電腦+PLC全自動化控制
- 多階段預融功率/掃描形式設定,滿足各種材料特性





直徑1800mm
配置: 機械幫浦/補助幫浦/擴散幫浦/蒸發電極
直徑1800mm
配置: 機械幫浦/補助幫浦/擴散幫浦/蒸發電極
直徑1300mm
配置:乾式幫浦/補助幫浦/渦輪分子幫浦
雙電子槍/冷凍機/16cm射頻離子源
光學監控/石英膜厚六點式感測頭
直徑1700mm
配置:機械幫浦/補助幫浦/雙擴散幫浦
雙電子槍/冷凍機/23cm射頻離子源
光學監控/石英膜厚六點式感測頭
直徑1700mm
配置:機械幫浦/補助幫浦/雙擴散幫浦
雙電子槍/冷凍機/23cm射頻離子源
光學監控/石英膜厚六點式感測頭