NO.1 立式雙門機
直徑1800mm
配置: 機械幫浦/補助幫浦/擴散幫浦/蒸發電極
NO.2 立式雙門機
直徑1800mm
配置: 機械幫浦/補助幫浦/擴散幫浦/蒸發電極
NO.3 光學機
直徑1300mm
配置:乾式幫浦/補助幫浦/渦輪分子幫浦
雙電子槍/冷凍機/16cm射頻離子源
光學監控/石英膜厚六點式感測頭
NO.4 光學機
直徑1700mm
配置:機械幫浦/補助幫浦/雙擴散幫浦
雙電子槍/冷凍機/23cm射頻離子源
光學監控/石英膜厚六點式感測頭
NO.5 光學機
直徑1700mm
配置:機械幫浦/補助幫浦/雙擴散幫浦
雙電子槍/冷凍機/23cm射頻離子源
光學監控/石英膜厚六點式感測頭
