配備帶水冷塊的高效背散射電子阱
- 降低基板溫度上升
- 由於反射的電子流入而導致的基板損傷減少
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仕 様 |
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型號 |
G-11000 |
G-11004/G-11006 |
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最大輸出功率 |
10kW (10kV – 1A) |
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加速電圧 |
-4kV ～ -10kV |
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電子束偏轉角 |
270° |
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偏轉方式 |
永磁體 |
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掃描範圍 |
±25mm |
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位置移動範圍 |
±25mm |
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坩堝 |
非 |
4或6點 12mL |
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工作壓力 |
5×10-5 ～ 7×10-2 Pa |
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冷卻水流量 |
10 L/min以上 （水溫15～25℃，壓差0.2～0.35MPa） |
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外形尺寸（mm） |
216(W)×318(D)×141(H) （不包括水嘴，突出物和水管) |
216(W)×339(D)×141(H) （不包括水嘴，突出物和水管) |
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重量 |
約10kg |
約35kg |
