壹-操作系統:

• 系統操作採用觸控螢幕操作，圖形化介面簡明易懂，提供中/英文兩種選擇。
• 完整的系統保護措施，當水、電、氣..等有異常時會有警告畫面及聲音，提醒操作人員即時進行故障排除，以減少公司損失，增進生產績效。
• 真空計讀值顯示於人機畫面，可依操作習慣選擇壓力單位(Torr,Pa,mBar) 。
• 坩堝定位系統可自動正/逆轉控制，減少操作者添加藥材及制程中坩堝切換之等待時間。
• 電子槍掃瞄/真空計校正/各設定點/烘烤模式/洩氣方式..等，多元化參數設定且採用密碼保護，避免不當的修改影響制程品質。
• 完整的故障履歷，便於故障發生時，能迅速掌握原因與即時排除。
• 完善的維護保養記錄，讓操作者能隨時掌握元件的使用時間與上次維護日期，以利於維護安排，達到最高的使用效能。

貳-監控系統簡介:

• Windows 作業系統，繁體中文操作介面易讀易懂 。
• 單一執行檔，含檔案資料建立、分析、監控、量測、提高操作之方便性 。
• 資料輸入有防呆與指示功能，提高資料正確性 。
• 具有已 TFCalc 分析軟體相同檔案格式，方便資料建立，亦可直接將 TFCalc 設計之膜厚轉換至製程檔。
• 較彈性之硬體設定，方便除錯，硬體設定互換或關閉 。
• 多視窗顯示功能，可獨立放大、縮小或關閉 。
• 具有溢鍍量扣減分析功能 。
• 分析後，監控波長選擇更具方便性 。
• 可紀錄及鍍後顯示每一鍍膜層資料，包括廣波域光譜、監控波長光譜變化、物理膜厚、蒸著速率、通氧流量、真空度變化、離子源相關變化量(Vd, Id…) ，方便檢知，利於問題的判斷與解決。
• 監控過程更具彈性隨時可中斷、暫停、省略或放棄 。
• 掃瞄式融藥功能 。
• 監控中，參數變更即時生效，方便製程調整 。
• 線上量測功能，可依狀況變換量測基準，進行量測 。
• 自動補層功能，大大提高膜層中斷補救之成功率 。
• 穩定的蒸著速率調整及石英壽命檢測、自動振盪片切換，可提高製 程的良品率 。
• 新增一些狀態檢測，如有不對，立即關閉遮板，停止電子鎗作動及發出警報，可大大降低不良率的發生 。

光學監控畫面

石英監控畫面

時間監控畫面