立式雙門真空蒸著機
特色:
- 左右爐可個別蒸著
- 蒸著製程有4組可供選擇
- 可加裝RF或濺鍍靶材
- 搭配電漿聚合(HMDS)表面處理模組，製程符合環保、低汙染，更可滿足產品表面需阻水、阻氣或疏水等特性要求，以提高產品附加價值。
用途:
- 裝飾產品/汽車燈罩/合金輪胎鋼圈/化妝品容器
- 香水瓶/鏡子/電器零件/NCVM及金屬化蒸著
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系統/機種 |
LP-1300 BSD |
LP-1600 BSD |
LP-1800 BSD |
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腔體尺寸 |
直徑 |
1300 mm |
1600mm |
1800mm |
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高度 |
1300 mm~1800 mm |
1600 mm~2000 mm |
1600 mm~2200 mm |
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可蒸鍍尺寸 |
- |
∮375x1,400 mm x6 |
∮380x1,700 mm x8 ∮450x1,700 mm x6 |
∮400x1,700 mm x8 ∮540x1,700 mm x6 |
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到達真空度 |
- |
10-6 Torr |
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排氣速度 |
- |
從1個大氣壓 到 5x10-5 Torr 約15分鐘 (空爐時) |
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視窗 |
- |
1組 |
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鎢絲數 |
- |
18~22個 |
20~26個 |
20~26個 |
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迴轉幫浦 |
公升/每分鐘 |
6,000~10,000 |
8,500~15,000 |
15,000 |
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加強幫浦 |
M3/ 每小時 |
1,500~3,000 |
2,000~5,000 |
4,000~6,000 |
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擴散幫浦 |
公升/ 每秒 |
45,000 |
45,000 |
45,000*2 |
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維持幫浦 |
(建議配備) |
300~600公升/每分鐘 |
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真空計 |
- |
Pirani + Cold Cathode (1 ATM ~ 10-6 Torr) |
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控制箱 |
- |
1組 |
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高真空閥 |
- |
28~36英吋 |
36英吋 |
36英吋 |
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粗抽閥 |
- |
6英吋 |
8英吋 |
10英吋 |
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預抽閥 |
- |
6英吋 |
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洩氣閥 |
- |
2英吋 |
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維持閥 |
- |
1英吋 |
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蒸著電源 |
- |
30KW |
50KW |
75KW |
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操作方式 |
- |
自動,手動 |
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冷卻水流量 |
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100 公升/ 每分鐘 |
120公升/ 每分鐘 |
150公升/ 每分鐘 |
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冷卻系統 |
- |
15 RT (水壓: 4Kg/ cm2,壓差:2Kg/ cm2) |
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冷卻水溫度 |
- |
建議 入水18℃，出水25℃，標準溫度20±1℃ |
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超低溫冷凍機 |
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另行選配 |
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射頻電漿產生器 |
- |
另行選配 |
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空壓機 |
- |
3HP ~5HP(空壓: 6 ~ 8 Kg/ cm2) |
空壓: 8 Kg/ cm2 |
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電力控制系統 |
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PLC |
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超低溫冷凍系統 |
- |
-110 ~ -140℃(另行選配) |
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所需電力 |
- |
75KW |
95KW |
105KW |
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