立式雙門蒸濺鍍兩用真空蒸著機
特色:
- 左右爐可個別蒸著
- 蒸著製程有4組可供選擇
- 適用RF或濺鍍靶材
- 迴轉機構採用公自轉方式，針對有曲度產品的蒸著，可達到極佳的均勻性效果。
用途:
- 手機機殼/ 按鍵/ PDA
- 其他資訊產品外殼/ 汽車後視鏡
- 裝飾性產品之金屬化及NCVM蒸著
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系統/機種 |
LP- 1200 BPSD |
LP- 1500 BPSD |
LP- 1600 BPSD |
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腔體尺寸 |
直徑 |
1,200 mm |
1,500 mm |
1,600 mm |
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高度 |
1,300 mm |
1,500 mm |
1,600 mm |
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可蒸鍍尺寸 |
- |
∮135x1,050mm x18 |
∮135x1,250mmx24 |
∮135x1,350mmx26 |
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到達真空度 |
- |
10-6 Torr |
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排氣速度 |
- |
從1個大氣壓 到 5x10-5 Torr 約15分鐘 (在空爐時) |
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視窗 |
- |
1組 |
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鎢絲數 |
- |
18~22個 |
20~24個 |
20~26個 |
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迴轉幫浦 |
公升/每分鐘 |
6000 |
10,000 |
15,000 |
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加強幫浦 |
M3/ 每小時 |
1,500 |
3,000 M3/ 每小時 |
5,000 |
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擴散幫浦 |
公升/ 每秒 |
45,000 |
45,000 |
45,000 *2 |
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維持幫浦 |
建議配備 |
300~600公升/每分鐘 |
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膜厚計 |
石英式 膜厚計 |
單片式感測頭/ 六片式感測頭 |
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真空計 |
- |
Pirani + Cold Cathode (1 ATM ~ 10-6 Torr) |
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控制箱 |
- |
1組 |
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濺鍍靶材 |
- |
2~4個 |
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濺鍍源 |
- |
RF或DC |
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操作方式 |
- |
自動,手動 |
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冷卻水流量 |
公升/每分鐘 |
80 |
100 |
120 |
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蒸著電源 |
- |
30KW |
35KW |
50KW |
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高真空閥 |
- |
24英吋 |
36英吋 |
36英吋 |
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粗抽閥 |
- |
6英吋 |
6英吋 |
8英吋 |
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預抽閥 |
- |
6英吋 |
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洩氣閥 |
- |
2英吋 |
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維持閥 |
- |
1英吋 |
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真空計 |
- |
Pirani + Cold Cathode (1 ATM ~ 10-6 Torr) |
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冷卻水塔 |
- |
15RT (水壓: 4Kg/ cm2,壓差:2Kg/ cm2) |
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冷卻水溫度 |
- |
建議 入水18℃，出水25℃，標準溫度20±1℃ |
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超低溫冷凍機 |
- |
超低溫冷凍機-110~-140℃ (採用環保冷媒) 另外選配 |
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空壓機 |
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3HP (空壓: 6~ 8 Kg/ cm2 |
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所需電力 |
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75KW |
85KW |
95KW |
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環境需求 |
- |
十萬級無塵室; Epoxy平面地板; 空調; 溫度25±3℃; 濕度50±10% |
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