特色:
- 中英文操作介面方便簡單。
- 電腦自動控制下,具有超高再現性。
- 採用高性能光學厚膜監控與電腦結合,可達到超高精度的光學厚膜。
- 可加裝RF 離子源、Ion Source 或 Plasma Gun 作高階光學膜蒸著製程。
- 加裝自動反面機構,可縮短蒸著作業時間,達到高效產能並減低生產成本。
- 自動化蒸著系統可強化生產管理及降低人事訓練時間。
用途:
- 單眼/數位相機 鏡片
- 監視器/投影機 鏡頭
- 彩色濾光鏡/ 鏡子
- 紅外線/紫外線 濾鏡
- AR 鍍膜
- 手機鏡頭
- DVD 讀取頭 & 監視器鏡片
系統/機種 |
LP-900 EBA |
LP-1100 EBA |
LP-1300 EBA |
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尺寸 |
外徑尺寸 |
900 mm |
1100 mm |
1300 mm |
治具尺寸 |
∮820 mm |
∮950 mm |
∮1200 mm |
|
主性能 |
到達真空度 |
10-7 Torr/ 10-5 Pa |
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操作真空度 |
從1個大氣壓 到 2x10-5 Torr(2.7X10-3 Pa) 約30分鐘 (空爐時) |
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基板溫度 |
350℃ (最大) |
|||
排氣系統 |
迴轉幫浦 |
3,000公升/ 每分鐘 |
3,000公升/ 每分鐘 |
3,000公升/ 每分鐘 |
加強幫浦 |
600 M3/ 每小時 |
600 M3/ 每小時 |
1,500 M3/ 每小時 |
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擴散幫浦 |
20,000公升/ 秒x 1 |
15,000公升/ 秒x 2 |
45,000公升/ 秒x 1 |
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超低溫冷凍機 |
-110 ~ -140 ℃ |
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加溫系統 |
微加熱器 |
12KW |
12KW |
24KW |
膜厚計 |
光學式膜厚計 |
LP廣波域膜厚計380mm~1,050mm |
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石英式膜厚計 |
單片式感測頭/ 六片式感測頭 |
|||
真空計 |
- |
Pirani + Cold Cathode (1ATM ~ 10-9 Torr / 1ATM ~ 10-7 Pa) |
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蒸發源 |
電子槍 |
Plasmatech 6KW/10KW |
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電阻加熱 |
3KW |
6KW |
6KW |
|
迴轉方式 |
- |
行星式或公轉式 |
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離子源 |
- |
另外選配 |
||
冷卻系統 |
- |
水壓: 4Kg/ cm2,壓差:2Kg/ cm2 |
||
冷卻水流量 |
公升/分鐘 |
80 |
100 |
150 |
冷卻水溫度 |
- |
建議 入水18℃,出水25℃,標準溫度20±1℃ |
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冷卻水塔 |
- |
水壓: 4Kg/ cm2; 壓差:2Kg/ cm2 |
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空壓機 |
- |
3HP (空壓: 6 ~ 8 Kg/ cm2) |
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接地電阻 |
- |
5歐姆以下 |
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所需電力 |
- |
35KW |
40KW |
60KW |
環境需求 |
十萬級無塵室環境; Epoxy平面地板;空調;溫度25±3℃; 濕度50±10% |
系統/機種 |
LP-1500 EBA |
LP-1800 EBA |
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尺寸 |
外徑尺寸 |
1,500 mm |
1800 mm |
|
治具尺寸 |
∮1,400 mm |
∮1,600 mm |
||
主性能 |
到達真空度 |
10-7Torr / 10-5 Pa |
||
操作真空度 |
從1大氣壓 到 2x10-5 Torr 約30分鐘 (空爐時) |
|||
基板溫度 |
350℃ (最大) |
|||
排氣系統 |
迴轉幫浦 |
5,000 公升/ 每分鐘 |
6,000 公升/ 每分鐘 |
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加強幫浦 |
1,500M3/每小時 |
2,600 M3/ 每小時 |
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擴散幫浦 |
45,000公升/ 每秒x1 |
45,000公升/ 每秒x2 |
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超低溫冷凍機 (採環保冷媒) |
-110 ~ -140℃ |
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加溫系統 |
微加熱器 |
36KW |
42KW |
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膜厚計 |
光學式膜厚計 |
LP廣波域膜厚計 |
||
石英式膜厚計 |
單片式感測頭/ 六片式感測頭 |
|||
真空計 |
- |
Pirani + Cold Cathode (1ATM ~ 10-9 Torr / 1ATM ~ 10-7 Pa) |
||
蒸發源 |
電子槍 |
JEOL 或 Plasmatech 6KW/10KW/15KW |
||
電阻加熱 |
6KW |
|||
迴轉方式 |
- |
行星式或公轉式 |
||
離子源 |
- |
另外選配 |
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冷卻水流量 |
公升/分鐘 |
150 |
180 |
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冷卻水塔 |
- |
水壓: 4Kg/ cm2; 壓差:2Kg/ cm2 |
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空壓機 |
- |
3~5HP (空壓: 6 ~ 8 Kg/ cm2) |
空壓: 8 Kg/ cm2以上 |
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接地電阻 |
- |
5歐姆以下 |
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電力控制系統 |
- |
PLC+ PC base (Windows System) |
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所需電力 |
- |
80KW |
110KW |
|
環境需求 |
十萬級無塵室環境; Epoxy平面地板;空調;溫度25±3℃; 濕度50±10% |