G-11000

配備帶水冷塊的高效背散射電子阱

  • 降低基板溫度上升
  • 由於反射的電子流入而導致的基板損傷減少
G 11000 01  G 11000 02 

 

仕 様

型號

G-11000

G-11004/G-11006

最大輸出功率

10kW  (10kV – 1A)

加速電圧

-4kV  ~ -10kV

電子束偏轉角

270°

偏轉方式

永磁體

掃描範圍

±25mm

位置移動範圍

±25mm

坩堝

4或6點 12mL

工作壓力

5×10-5  ~ 7×10-2  Pa

冷卻水流量

10 L/min以上

(水溫15~25℃,壓差0.2~0.35MPa)

外形尺寸(mm)

216(W)×318(D)×141(H)

(不包括水嘴,突出物和水管)

216(W)×339(D)×141(H)

(不包括水嘴,突出物和水管)

重量

約10kg

約35kg

 

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