仕 様

型號

G-12600

G-12700

最大輸出功率

10kW  (10kV – 1A)

加速電圧

-4kV  ～ -10kV

電子束偏轉角

270°

偏轉方式

電磁鐵

永磁體

掃描範圍

±20mm

位置移動範圍

±20mm

坩堝

非

工作壓力

7×10-2  Pa以下

冷卻水流量

10 L/min以上

（水溫15～25℃，壓差0.2～0.35MPa）

外形尺寸（mm）

182(W)×174(D)×188(H)

（不包括水嘴，突出物和水管)

182(W)×168(D)×188(H)

（不包括水嘴，突出物和水管)

重量

約10kg