特色:
- 模組化設備的組合，整體外觀設計簡潔。
- 具人體工學設計的操作軟體介面。
- 優化的抽氣系統，整理機具更方便。
- 高效能磁控濺鍍電極設計。
- 專利下部回流線及閥門設計。
- 真空室採不鏽鋼材質，易於保養和維修。
- 設備規劃可以客製化。
用途:
適用於平面型鍍膜工藝，例如:
- KEYPAD按鍵SDC表面裝飾性鍍膜
- Lens(視窗) SDC表面裝飾性鍍膜
- 其他3C產品的SDC表面裝飾性鍍膜
- NCVM鍍膜/防電磁波干擾鍍膜
- 後照鏡鍍鉻、鞋材、玻璃鍍膜、NB防電磁波干擾鍍膜
產品規格：
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名稱 |
數量 |
功能 |
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乾式真空幫浦 Dry Pump |
3 | 於1個大氣壓抽氣至低真空狀態 |
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冷凍幫浦 Cryo Pump |
2 | 以冷凍方式吸附水氣輔助抽氣至高真空 |
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直流電源 DC Power |
2 | 含抑制電弧功能的穩定電源 |
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陰極真空計 Cathode |
2 | 穩定高效能的靶基輔助靶材濺鍍 |
