產品說明：

1. 模組化的設計，隨插即用。容易維護，體積縮小30%。
2. 低溫製程。

特色：

1. 增加鍍膜接著
2. 控制度模組成結構
3. 降低鍍膜吸收及散射
4. 增加薄膜硬度及耐磨性
5. 增加鍍膜密度
6. 增加折射率
7. 鍍膜介面平整化
8. 控制鍍膜應力

應用：

離子輔助鍍膜、清潔、蝕刻

其他系列：

中和式離子源 EH1025HC