鍍膜材料
CANON OPTRON (日本佳能) |
MgF2 / SiO / SiO2 / S5F / Al2O3 / OM-4 / Ta2O5 / OS-50 Surfclear100 …等 |
高折射率蒸著材 | TiO2 / Ti3O5 / ZrO2 / ZnS / Ta2O5 / Nb2O5 …等 |
中折射率蒸著材 | Al2O3 / MgO …等 |
低折射率蒸著材 | MgF2 / SiO2 …等 |
混合型蒸著材 | LB-3 / ITO / OM系 / OS系 / OH系 …等 |
防水膜 | AF.AS藥劑 / 超硬防水藥…等 |
各式蒸著配件 | BOAT(材質MO/TA/W) / 鎢絲 / 鋁圈 / 坩鍋…等 |
油品
LEYBONOL (萊寶) | LVO-100 / LVO-130 / LVO-210 |
EDWARDS (愛德華) | Ultragrade 20/40 |
MORESCO (日本原裝) | MR-100 / MR-200 / MR-200A / MR-250 / MR-250A |
HIVAC (日本原裝) | F-4 (Silicon擴散油) |
DOW CORNING (道康寧) | 矽利光真空油膏 |
LION (日本原裝) | Lion-A / Lion-S |
石英振盪片
MAXTEK | 6MHz(金) / 5MHz(合金) |
INFICON | 6MHz(金) / 5MHz(合金) |
LP | 6MHz(金) / 5MHz(合金) |
FIL-TECH | QI-8010 / QI-8008 |
石英膜厚計
INFICON | XTC/3S、XTC/3M、IC6、SQM-160 |
感測頭
JEOL (日本電子) | 六點式感測頭 / 十二點式感測頭 |
INFICON | 單點式感測頭 / 雙感測頭 …等 |
各式電源
MF | 德國J.Schneider / 美國AE |
RF | 美國AE / 日本電子JEOL |
離子源
VEECO | End Hall ION Source / RF ION Source |
KRI | End Hall ION Source / RF ION Source |
PPG | RF ION Source |
電子槍
PLASMATECH | 6KW / 10KW / 15KW |
JEOL | 3KW/ 6KW/ 10KW / 16KW |
冷凍機
POLYCOLD | PFC-552 / PFC-672 / MAXCOOL 4000H |
SHINMAYWA | NEOCOLD RCT762 |
LP | LP-150-050 / LP-150-075 / LP-150-100 |
真空幫浦
LEYBOLD(萊寶) | SV系列 / WAU系列 …等 |
EDWARDS(愛德華) | EH系列 / E2M175 / E2M275…等 |
OSAKA(大阪) | P600 / P901 / TGkine系列…等 |
PFEIFFER(普發) | WKP系列…等 |
SHINKO(神港) | SMB系列 / SR系列…等 |